本司自行設(shè)計(jì)、制作的XQ60-GⅠ型便攜式激光平面干涉儀近期己達(dá)到批量生產(chǎn)能力。儀器采用小型便攜化設(shè)計(jì)，使用多攝像模組實(shí)現(xiàn)了對(duì)瞄準(zhǔn)、測(cè)量、放大等要求的顯示器觀測(cè)，切換簡(jiǎn)單，實(shí)用性強(qiáng)。采用優(yōu)化光路設(shè)計(jì)，使儀器可以擴(kuò)展完成棱鏡角度測(cè)量等非傳統(tǒng)應(yīng)用。投放市場(chǎng)后可以最大限度地減輕了操作人員的工作強(qiáng)度;更適用于大批量生產(chǎn)的檢驗(yàn);配以計(jì)算機(jī)可直接將被檢測(cè)鏡面的原始資料通過(guò)計(jì)算機(jī)保存和傳輸,以達(dá)到資料存檔及遠(yuǎn)程監(jiān)控、驗(yàn)收評(píng)定質(zhì)量的目的,是國(guó)產(chǎn)激光平面干涉儀產(chǎn)業(yè)新的發(fā)展。
技術(shù)參數(shù):
第一標(biāo)準(zhǔn)平面(A面),工作直徑D1=Φ60mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
第二標(biāo)準(zhǔn)平面(B面),工作直徑D1=Φ60mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
可調(diào)節(jié)倍率:1X~2X
準(zhǔn)直系統(tǒng) ——————————————— 工作直徑Φ60mm,焦距f=200mm
光源規(guī)格 ——————————————— 635nm/He-Ne
